中科院“軟X射線(xiàn)干涉光刻分支線(xiàn)站的建設(shè)”通過(guò)驗(yàn)收
中國(guó)科學(xué)院重大科技基礎(chǔ)設(shè)施維修改造項(xiàng)目“軟X射線(xiàn)干涉光刻分支線(xiàn)站的建設(shè)”驗(yàn)收會(huì)在中科院上海應(yīng)用物理研究所張江園區(qū)召開(kāi)。會(huì)議由計(jì)劃財(cái)務(wù)局潘鋒副局長(zhǎng)主持，來(lái)自復(fù)旦大學(xué)、中科院物理所、中科院化學(xué)所、蘇州大學(xué)、中國(guó)科技大學(xué)、中科院辦公廳、中科院檔案館、中科院計(jì)劃財(cái)務(wù)局、近代物理所、高能物理所等單位的11位專(zhuān)家組成審核專(zhuān)家組，復(fù)旦大學(xué)張新夷教授任組長(zhǎng)。中國(guó)科學(xué)院計(jì)劃財(cái)務(wù)局、基礎(chǔ)科學(xué)局、大裝置辦公室的相關(guān)領(lǐng)導(dǎo)出席了本次會(huì)議。
專(zhuān)家組聽(tīng)取了項(xiàng)目負(fù)責(zé)人邰仁忠研究員所作的驗(yàn)收總結(jié)報(bào)告，由中科院物理所麥振洪研究員代表測(cè)試專(zhuān)家組宣讀工藝測(cè)試結(jié)果及測(cè)試專(zhuān)家意見(jiàn)，隨后進(jìn)行了現(xiàn)場(chǎng)考察，查看了工藝、檔案、財(cái)務(wù)和設(shè)備資料。經(jīng)過(guò)討論和答疑，驗(yàn)收專(zhuān)家一致認(rèn)為，項(xiàng)目各項(xiàng)工藝指標(biāo)均達(dá)到任務(wù)書(shū)中的驗(yàn)收指標(biāo)，部分優(yōu)于驗(yàn)收指標(biāo)；經(jīng)過(guò)近一年的試運(yùn)行，系統(tǒng)穩(wěn)定、可靠；項(xiàng)目完成了儀器設(shè)備建設(shè)任務(wù)，做到了賬物相符；項(xiàng)目經(jīng)費(fèi)使用基本合理；項(xiàng)目文件材料收集齊全，簽字手續(xù)完備，案卷質(zhì)量符合規(guī)范，反映了項(xiàng)目建設(shè)的全過(guò)程。驗(yàn)收專(zhuān)家組一致同意通過(guò)驗(yàn)收。
“軟X射線(xiàn)干涉光刻（XIL）分支線(xiàn)站建設(shè)項(xiàng)目”是上海光源承擔(dān)的中國(guó)科學(xué)院大科學(xué)裝置維修改造項(xiàng)目。項(xiàng)目的主要任務(wù)是在上海光源軟X射線(xiàn)譜學(xué)顯微光束線(xiàn)站（BL08U-1A）的基礎(chǔ)上，建設(shè)XIL分支光束線(xiàn)和實(shí)驗(yàn)站，充分拓展主線(xiàn)站（BL08U-1A）的用途，建立大面積、高分辨的微、納加工技術(shù)。XIL與主線(xiàn)站結(jié)合，可以使納米結(jié)構(gòu)的制備、組裝和結(jié)構(gòu)表征、觀察在同一條光束線(xiàn)站上完成，為用戶(hù)提供一個(gè)研究納米材料和器件的一體化平臺(tái)。項(xiàng)目于正式啟動(dòng)，至底所有設(shè)備安裝在線(xiàn)調(diào)試完畢，對(duì)用戶(hù)開(kāi)放試運(yùn)行，通過(guò)了院基礎(chǔ)局組織的工藝測(cè)試。
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